Нашими специалистами был произведен расчет и подбор оборудования, согласно техническому заданию заказчика, реализована поставка оборудования, монтаж и пуско-наладочные работы.
Поставляемое оборудование предназначено для охлаждения оборотной воды, использующейся для охлаждения установок синтеза CVD-алмаза. Метод CVD используется для получения высокочистых твёрдых материалов, для производства полупроводников и создания тонких плёнок.
Нашими специалистами была смонтирована система охлаждения, включающая чиллер, размещаемый в помещении, и выносной конденсатор, размещаемый вне помещения.
Система охлаждения для установок синтеза CVD-алмаза
Необходимость охлаждения CVD-установок обусловлена тем, что в процессе работа ряда устройств этих установок (генераторов ВЧ, камеры реактора, турбомолекулярных насосов и др.) выделяется значительное количество тепла, которое нужно удалить. В процессе работы указанных устройств, необходимо поддерживать их рабочие характеристики и обеспечивать выполнение требований к температурным режимам, которые определяются технологией CVD-осаждения. С этой целью каждая из установок оснащена соответствующей системой охлаждения, функционирование которой предполагает наличие притока внешней оборотной воды, причем температура, давление и объем строго регламентируются в документации на ростовые установки. Необходимость поддержания циркуляции оборотной воды с заданными параметрами обеспечивается внешней системой охлаждения, которая также должна выводить снимаемое тепло за пределы помещения, в которой установлены ростовые установки.
Особенности комплектации оборудования
Чиллер собран в несущем корпусе шкафного типа из оцинкованной стали с порошковой краской. Корпус оснащен раскрывающимися панелями, которые предоставляют полный доступ к внутренним компонентам чиллера для их осмотра и технического обслуживания. Внутри корпуса чиллера установлен гидромодуль, холодильный контур и элементы управления.
Гидромодуль включает в себя насос для поддержания протока оборотной воды через чиллер и аккумулирующий бак.
Холодильный корпус включает: спиральный компрессор, пластинчатый испаритель, жидкокостной ресивер с роталоком, фильтр осушитель, смотровое стекло, соленоидный клапан, механический терморегулирующий клапан (ТРВ), сервисный клапан, обратный клапан. Для защиты контура охлаждения применены следующие устройства: аварийное реле высокого давления с ручным сбросом, аварийное реле низкого давления с автоматическим сбросом, реле протока воды, аварийный механический клапан высокого давления, аварийный датчик минимальной температуры воды на выходе из испарителя.
Элементы управления чиллером включают в себя щит управления в составе главного выключателя, контроллера, автомата защиты цепи управления, мотор-автомата компрессора и насоса, пускателей компрессора и насоса, вспомогательного трансформатора, реле контроля фаз.
